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Mit Nanoelektronik neue technologische Herausforderungen meistern Durch die stetig wachsende Integrationsdichte mikroelektronischer Schaltungen werden heute Strukturgrößen von wenigen Nanometern hergestellt. Damit verbunden treten Effekte in Erscheinung, die vor einigen Technologiegenerationen noch vernachlässigt werden konnten. Diese Effekte beschränken die weitere Miniaturisierung des klassischen Transistors als wichtigstes Schaltelement. A...

Mit Nanoelektronik neue technologische Herausforderungen meisternDurch die stetig wachsende Integrationsdichte mikroelektronischer Schaltungen werden heute Strukturgrößen von wenigen Nanometern hergestellt. Damit verbunden treten Effekte in Erscheinung, die vor einigen Technologiegenerationen noch vernachlässigt werden konnten. Diese Effekte beschränken die weitere Miniaturisierung des klassischen Transistors als wichtigstes Schaltelement. And...